组成
表表散射模型的光线散射区域分为4个部门，别离为漫反射光瓣、镜面反射光瓣、镜面反射峰以及由表表微观纹理造成的菊花瓣 。
光学道理
由表表散射模型可知，相机的拍摄角杜装响物体表表的微观纹理特点在图像中的阐发，在分歧的地位搭配光源和相机可能得到分歧的成像特点 。
典型照明方式
明场照明光线经工件表表反射进入传感器，相应的像素灰度值高，当工件表表存在缺点时，光线反射角度产生偏转使光线偏离传感器，相应的像素灰度值低 ；针对分歧尺度的表表缺点又衍生出暗场及低角度暗场照明方式 。背光照明凭据工件的不透光性，可能清澈的出现工件的概括特点 。漫反射照明可解除阴影，并利用分歧色彩表表对光的吸收性分歧，可能清澈的出现曲面表表特殊色彩印刷的符号 。同轴明场也是明场照明方式，但增长了偏振片限度了传感器光线的接受，用于抑造其他角度的光线 。
角度分辨光谱技术的利用
1.丈量资料的光学常数
光学常数，蕴含折射率、消光系数、复介电常数和光电导率等，是描述光电资料性质的数据基础，反映了光与物质的相互作用，诠氏缢光在介质中的传布和耗散 。光学常数的正确测定是资料和物理领域的钻研基础，不仅有助于理解别致的光电景象，揭示其背后的物理机造，并且可以为有关光电器件的优化设计提供方向 。
2.表征资料的概括和缺点特点
半导体行业的发展以器件几何尺寸的不休缩幼为标志，突破了计量设备量测能力的极限 。量测能力是指丈量数据必要足够的精度，典型的量测规定要求计量精度为被测特点尺寸的1% 。在20世纪90年代末，一种被称为散射丈量的技术出现，它满足了高容量硅造作的丈量需要 。散射丈量是一种基于晶圆造作过程中周期性特点产生的光散射分析的光学尺寸计量 。由于散射丈量拥有急剧、定量和无损的特点，在大批量光学特点尺寸的丈量中，光学散射丈量是SEM的一个有吸引力的代替品 。
3.钻研微纳光子资料的光学性质
近年来，钻研者对微纳光子资料，如光子晶体、超资料、等离激元结构等的钻研层出不穷，为基础钻研和利用钻研提供了新思路 。微纳光子资料能够在波长甚至亚波长尺度上调造光子的运动，提供了新的光调控伎俩 。在微纳光子资猜中，光子色散决定了资料对表部光场的响应，并在微纳光子资猜中产生各类别致的景象，例如：三维光子晶体中与角度有关的反射效应起源于其色散中的光子带隙 ；在复色散带曲率的影响下，超资猜中产生了负折射效应 。因而，采集样品在动量空间的光子色散对于钻研微纳光子资料有着沉大意思 。到目前为止，除前文介绍的动量空间成像系统以表，还存在其他方式能够实现动量分辨光谱的采集，并且通过这些系统进一步钻研了微纳光子资料的性质 。
4.光学散射成像
散射是一个物理过程，限度着所有光学成像系统的成像机能 。例如，激光雷达（LiDAR）系统对于汽车、水下和空中飞行器的感知和探测与其周围的三维环境至关沉要 。然而，目前的LiDAR系统在云、雾、尘埃、雨水等引起散射的不利前提下失效，这种限度是三维感知和导航系统的关键阻碍，故障了系统的稳重和安全运行 。类似的挑战也呈此刻与遥感或天文学有关的其他宏观利用中，其中大气散射层故障了丈量捕获 。在微观利用中，如生物医学成像和神经成像，生物组织的散射使进入大脑的成像复杂化，是高分辨率活体成像的阻碍 。在这些利用中，通过强散射介质进行不变、高效地成像是一个挑战，由于它通常必要求解一个复杂的逆问题 。
